电子束镀膜机加热原理及特点

电子束镀膜机的加热蒸发源利用热阴极发射电子，在电场的作用下成为高能量密度的电子束，直接撞击镀层。电子束的动能转化为热能，使镀层加热蒸发，完成蒸发镀层。

电子束加热蒸发的优点:

1.电子束加热比电阻加热具有更高的通量密度，可以蒸发W、Mo、Al2O3等高熔点材料，蒸发速率更高；

2.蒸发材料放入水冷铜坩埚中，可避免坩埚材料污染，制备高纯薄膜；

3.电子束蒸发颗粒动能大，有利于获得致密结合力好的膜层。

电子束加热蒸发的缺点:

1.结构复杂，设备价格昂贵；

2.如果蒸发源附近的蒸汽密度高，电子束流和蒸汽颗粒会相互作用，电子通量会丢失，导致轨道偏移；同时，蒸汽和残留气体的刺激和电离会影响膜质量。

电子束加热蒸发源的形式。

电子束蒸发源由电子枪和坩埚两部分组成，有时还附有供给材料的机械。在很多情况下，产生和控制电子束的装置和坩埚设计成一体。电子束加热蒸发源有以下结构形式

1.直线阴极和静电聚焦蒸发器。

2.环形阴极和静电聚焦蒸发器。

3.带轴向枪和静电远蒸发器。

4.带轴向枪、磁聚焦、磁偏转90度的蒸发器。

5.带横枪和磁偏转90度的蒸发器。

6.带环形阴极、静电聚焦和静电偏转的蒸发器。

7.E型电子枪蒸发器，E型电子束蒸发源发射的电子轨迹类似于e字，所以简称E型枪。目前，这种蒸发源广泛应用于真空蒸镀工艺。